Bộ điều khiển lưu lượng khối kín bằng kim loại cho khí F-201CM Bronkhorst Vietnam
Xuất sứ: Hà Lan
Nhà cung cấp: STC Vietnam
Hãng sản xuất: Bronkhorst
Ứng dụng sản phẩm: : [Sắt thép công nghiệp nặng, Xi măng, Thực phẩm - Điện lực, Dầu Khí, NLMT, khí tượng thủy văn, giao thông thông minh, hệ thống kiểm tra/kiểm soát an ninh…]
Đức HuyBộ điều khiển lưu lượng khí kín bằng kim loại
Giới thiệu
Bộ điều khiển lưu lượng khối (MFC) Bronkhorst ® model F-201CM được thiết kế đặc biệt để đáp ứng các yêu cầu của thị trường bán dẫn cũng như các ứng dụng khí có độ tinh khiết cao khác. Các thiết bị có chất lượng bề mặt cao và được chế tạo theo dạng mô-đun với các miếng đệm kim loại-kim loại đảm bảo độ kín rò rỉ lâu dài. F-201CM phù hợp để đo lường và kiểm soát chính xác các dải lưu lượng từ 0,12…6 sccm đến 1…50 slm (dựa trên N 2 ) ở áp suất vận hành giữa chân không và 1000 psig (64 bar).
Dòng EL-FLOW ® Metal Sealed được trang bị bo mạch chủ kỹ thuật số, cung cấp độ chính xác cao, độ ổn định nhiệt độ tuyệt vời và phản hồi nhanh. Bo mạch chủ kỹ thuật số chính chứa tất cả các chức năng chung cần thiết để đo lường và kiểm soát. Ngoài đầu ra RS232 tiêu chuẩn, các thiết bị còn cung cấp I/O tương tự. Tùy chọn, có thể lắp giao diện trên bo mạch để cung cấp các giao thức CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII hoặc TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK hoặc FLOW-BUS. Thiết kế EL-FLOW ® Metal Sealed có chức năng Multi Gas / Multi Range tùy chọn, cung cấp cho khách hàng (OEM-) tính linh hoạt và hiệu quả quy trình tối ưu.
Ưu điểm
- Cấu trúc niêm phong kim loại-kim loại được cấp bằng sáng chế đảm bảo độ kín khít lâu dài (với khí quyển)
- Chất lượng bề mặt cao của các bộ phận bị ướt
- Phòng sạch lắp ráp
- Độ chính xác cao, khả năng lặp lại tuyệt vời
- Chức năng đa khí/đa phạm vi (tùy chọn)
- Thời gian ổn định nhanh (xuống tới 600 msec)
Thông số kỹ thuật
Hệ thống đo lường / kiểm soát |
|
|---|---|
| Phạm vi lưu lượng (có sẵn phạm vi trung gian) | phút. Tối đa 0,12…6 ml n / phút . 1…50 l n / phút |
| Độ chính xác (bao gồm cả tính tuyến tính) (dựa trên hiệu chuẩn thực tế) | ±0,5% Rd cộng với ±0,1% FS |
| Khả năng lặp lại | < 0,2 % RD |
| Tỷ lệ giảm giá | 1:150 (1:50 ở chế độ tương tự) |
| Áp suất vận hành tối đa | 1000 psig (64 bar) |
| Khả năng đa chất lỏng | lưu trữ tối đa 8 đường cong hiệu chuẩn; chức năng Đa khí / Đa dải tùy chọn lên đến 10 bar abs |
| Thời gian ổn định (trong tầm kiểm soát, điển hình) | 1 giây thông thường trên 5% FS; tùy chọn: xuống tới 600 msec |
| Kiểm soát sự ổn định | ± 0,05% FS (điển hình cho 1 slm N 2 ) |
| Nhiệt độ hoạt động | -10…+70°C (Van Viton hoặc EPDM); 0…70°C (Van NC với van Kalrez 6375); 0…50°C (Van NO với van Kalrez 6375) |
| Lắp ráp | bất kỳ vị trí nào, thái độ nhạy cảm không đáng kể |
| Độ nhạy nhiệt độ | không: < 0,05% FS/°C; khoảng: < 0,05% Rd/°C |
| Độ nhạy áp suất | < 0,1% Rd/bar điển hình N 2 ; < 0,01% Rd/bar H 2 |
| Tính toàn vẹn rò rỉ, bên ngoài | < 2 x 10-11 Pa.m 3 / s He |
| Rò rỉ qua van đóng | < 10-5 Pa.m3/s He (kim loại kín) |
| Thời gian khởi động | 30 phút để có độ chính xác tối ưu 2 phút để có độ chính xác ± 2% FS |
Các bộ phận cơ khí |
|
|---|---|
| Vật liệu (phần ướt) | thép không gỉ 316L hoặc tương đương |
| Kết nối quy trình | 1/4” mặt phớt nam |
| Hải cẩu | Phớt ngoài: kim loại với kim loại (không có vòng); Phớt trong/ghế van: Kalrez® (FFKM); tùy chọn: Viton® |
| Cân nặng | 0,7kg |
| Bảo vệ chống xâm nhập | IP40 |
Tính chất điện |
|||||
|---|---|---|---|---|---|
| Nguồn điện | + 15 … 24 Vdc | ||||
| Tiêu thụ điện năng tối đa |
|
||||
| Đầu ra tương tự | 0…5 (10) Vdc hoặc 0 (4)…20 mA (nguồn đầu ra) | ||||
| Truyền thông số | tiêu chuẩn: RS232; tùy chọn: PROFIBUS DP, CANopen®, DeviceNet™, PROFINET, EtherCAT®, Modbus RTU, ASCII hoặc TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK, FLOW-BUS |
||||
Kết nối điện |
|
|---|---|
| Tương tự/RS232 | Đầu nối D 9 chân (đực); |
| PROFIBUS DP | bus: đầu nối D 9 chân (cái); nguồn: đầu nối D 9 chân (đực); |
| CANopen® / DeviceNet™ | Đầu nối M12 5 chân (đực); |
| Dòng chảy-BUS/Modbus-RTU/ASCII | Giắc cắm mô-đun RJ45 |
| Modbus TCP / EtherNet/IP / POWERLINK | 2 x giắc cắm mô-đun RJ45 (vào/ra); |
| EtherCAT®/PROFINET | 2 x giắc cắm mô-đun RJ45 (vào/ra) |
